Trans-scale Nanofabrication with Nanopositioning and Nanomeasuring Machines
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Model-driven development and multiprocessor implementation of a dynamic control algorithm for nanopositioning and nanomeasuring machines
This article presents a computationally intensive adaptive trajectory tracking control algorithm for dynamic control of nanopositioning and nanomeasuring machines. To realize the required high sample rate of the control algorithm, an embedded multiprocessor architecture has been chosen as development target. The model-oriented development approach studied here aims to narrow the gap between the...
متن کاملDevelopment of 3D Force Sensors for Nanopositioning and Nanomeasuring Machine
In this contribution, we report on different miniaturized bulk micro machined three-axes piezoresistive force sensors for nanopositioning and nanomeasuring machine (NPMM). Various boss membrane structures, such as one boss full/cross, five boss full/cross and swastika membranes, were used as a basic structure for the force sensors. All designs have 16 p-type diffused piezoresistors on the surfa...
متن کاملAdaptive Reibkraftkompensation zur modellbasierten Positionsregelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Model Based Position Control of Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines Using an Adaptive Friction Cancellation Approach)
In der vorliegenden Arbeit wird eine modellbasierte Trajektorienfolgeregelung für Positionieraufgaben mit Nanometerauflösung vorgestellt. Hierzu wird die dominante Störgröße Reibung durch ein physikalisch motiviertes Reibmodell nachgebildet. Dieses Modell wird auf Grundlage von experimentellen Daten offline identifiziert und anschließend in einer Vorsteuerung eingesetzt. Während der Online-Phas...
متن کاملvalidation of a revised logical-mathematical intelligence scale and exploring its relationship with english language proficiency
نظریه هوش چندگانه قسمتهای متفاوت هوش بشری را مورد بررسی قرار می دهد که با شناخت آن شخص به درک بهتری از توانایی های خود میرسد و در نتیجه سعی در استفاده از آن جهت یادگیری بهتر میکند. همچنین با شناخت استعداد دانش آموزان، فرایند یادگیری بهتر میشود. هدف از انجام دادن این تحقیق بررسی رابطه بین هوش ریاضی و استعداد یادگیری زبان انگلیسی میباشد. برای انجام این تحقیق از پرسشنامه هوش ریاضی که توسط شیرر در ...
ذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: IFAC-PapersOnLine
سال: 2019
ISSN: 2405-8963
DOI: 10.1016/j.ifacol.2019.11.666